第1年
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 350
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 1500
HVA 矩形閥 28200系列
上海伯東 渦輪分子泵 HiPace 80 Neo
上海伯東 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340
HVA 真空閘閥, 真空插板閥 21200 系
上海伯東 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, AS
HVA 高真空閘閥 高真空插板閥 11000
上海伯東普發(fā) Pfeiffer 售后維修服
上海伯東 便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 3
- 材質(zhì)：
- 不銹鋼
因產(chǎn)品配置不同，價(jià)格貨期需要電議，圖片僅供參考，一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)。
HVA 矩形閥 88200 系列
上海伯東美國(guó) HVA 矩形閥門 88200系列矩形板閥是采用了直連驅(qū)動(dòng)技術(shù)的接口閥，可靠使用壽命超過(guò)1百萬(wàn)次。HVA 閘板閥專用于真空相關(guān)系統(tǒng)，起隔絕真空壓力的作用。HVA真空閘板閥外形尺寸小，設(shè)計(jì)緊湊，可靠應(yīng)用于生產(chǎn)線與過(guò)渡腔室（load-lock chamber），過(guò)渡腔室（load-lock chamber）與傳輸系統(tǒng)（handling system），傳輸系統(tǒng)（handling system）與工藝腔室（process chamber）等等，需要分隔真空壓力的地方。
HVA 88200 系列矩形真空板閥產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 超百萬(wàn)次可靠運(yùn)行壽命
2. 不產(chǎn)生粉末，顆粒，防塵設(shè)計(jì)
3. 閥動(dòng)作平穩(wěn),振動(dòng)和沖擊小
4. 標(biāo)準(zhǔn)接口，或按客戶要求定制
5. 閥體材料經(jīng)過(guò)1E-6Torr,1100℃真空銅焊處理
6. 適用于1E-9Torr,200℃條件下
HVA 88200 系列矩形真空板閥技術(shù)參數(shù)
連接形式： | 標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭 |
|---|---|
主體材料： | 鋁 |
公稱通徑： | DN32*222 mm-DN50*336 DN32*222 mm-DN100*1250 |
漏率: | 2x10E-9 AtmCC/Sec |
壓力范圍: | 1x10E-9 Torr |
烘烤溫度: | 《150℃ |
適用介質(zhì)： | 水、蒸汽、空氣 |
密封形式： | 軟密封型 |
驅(qū)動(dòng)方式： | 氣動(dòng) |
使用壽命: | 1000000 啟閉次數(shù) |
28200＆88200系列矩形真空板閥訂貨號(hào)及2D & 3D 圖
DN | Model |
|
| |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
mm | inch | Number | J (Bolted Body) | K (Clamped Body) | ||||
32 x 220 | 1.26 x 8.74 | 28212-0109RX_ | ||||||
32 x 332 | 1.26 x 13.07 | 28212-0113RX_ | ||||||
46 x 236 | 1.81 x 9.29 | 28212-0209RX_ | ||||||
50 x 336 | 1.97 x 13.23 | 28212-0213RX_ | ||||||
HVA 28200＆88200 系列矩形真空板閥部件圖
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