（一）MEMS的定義

      微機(jī)電系統(tǒng)（Micro Electro-Mechanical System，簡稱MEMS），是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的電子機(jī)械器件。MEMS具有微型化、智能化、高集成度和適于大批量生產(chǎn)、多學(xué)科交叉等特征。

（二）MEMS器件分類

MEMS器件根據(jù)其技術(shù)原理可分為四類：傳感MEMS、生物MEMS、光學(xué)MEMS和射頻MEMS。

      MEMS整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈涉及設(shè)計(jì)、制造、封裝測試、軟件及應(yīng)用方案環(huán)節(jié)。MEMS產(chǎn)業(yè)鏈的上游負(fù)責(zé)MEMS器件設(shè)計(jì)、材料和生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)，中游生產(chǎn)制造出MEMS器件，下游使用MEMS器件制造終端電子產(chǎn)品。

（一）全球市場格局

1.全球MEMS行業(yè)市場規(guī)模保持穩(wěn)定增長。

       據(jù)IC Insights統(tǒng)計(jì)，2019年全球MEMS產(chǎn)業(yè)市場銷售額超140億美元，同比增長10%，預(yù)計(jì)未來幾年全球MEMS市場將以15%的年復(fù)合增長率增長，到2023年市場規(guī)模突破200億美元。

2.細(xì)分領(lǐng)域呈現(xiàn)寡頭壟斷的分布格局。

據(jù)Yole Development公布的2018年全球MEMS元件廠商TOP30企業(yè)榜單，TOP30企業(yè)的總銷售額高達(dá)103億美元（占全行業(yè)81%）。其中，美國排名前30的廠商有12家，市場份額占比45.63%，主要包括RF MEMS、壓力傳感器、慣性傳感器、溫濕傳感器、MEMS麥克風(fēng)等細(xì)分領(lǐng)域；日本排名前30的廠商有10家，市場份額占比18.97%，主要包括圖像傳感器、繼電器、噴墨打印頭、壓力傳感器等領(lǐng)域；而中國只有歌爾和瑞聲兩家企業(yè)上榜，主要生產(chǎn)MEMS麥克風(fēng)。

3.歐美MEMS代工廠具有壓倒性優(yōu)勢。

據(jù)Yole Development 發(fā)布的2018年全球MEMS代工廠發(fā)展報(bào)告，提供MEMS代工的IDM廠商主要有ST、索尼、TI等，臺積電MEMS代工業(yè)務(wù)也排在前列。從MEMS代工業(yè)務(wù)規(guī)模來看，TOP1為美國的ST，每2臺手機(jī)中就有1顆ST MEMS傳感器，其開展MEMS代工業(yè)務(wù)已有20余年。TOP2為加拿大的Teledyne DALSA，是全球最大的純MEMS 代工廠。TOP4是中國耐威科技控股公司Silex Microsystems AB，在純MEMS代工廠中排名第二。

（二）國內(nèi)市場格局

1.中國成全球MEMS市場增長最快地區(qū)。

近年來，受益于消費(fèi)電子類產(chǎn)品，如智能手機(jī)、平板電腦等產(chǎn)量保持穩(wěn)定增長，帶動加速傳感器、陀螺儀、硅麥克風(fēng)等MEMS行業(yè)需求的增長，中國成為全球MEMS市場發(fā)展最快的地區(qū)。據(jù)賽迪智庫統(tǒng)計(jì)，2018年中國MEMS整體市場規(guī)模達(dá)到504.3億元，預(yù)計(jì)到2021年將達(dá)到851.1億元。

2.長三角是我國MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展主陣地。

據(jù)中國信通院統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，2018年我國MEMS傳感器制造企業(yè)大約有200家，主要集中在長三角地區(qū)，占比超60%，其中江蘇省占比接近30%。主要得益于長三角良好的集成電路產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，硅基MEMS研發(fā)及代工生產(chǎn)線資源較多，產(chǎn)業(yè)鏈配套較完善。

1.深圳市MEMS下游應(yīng)用市場規(guī)模全國最大。

MEMS傳感器作為手機(jī)、電腦、智能穿戴、無人機(jī)、機(jī)器人等各類智能產(chǎn)品必備的核心零部件，是電子信息行業(yè)眾多制造企業(yè)生存和發(fā)展的根本。深圳作為世界級的電子信息產(chǎn)業(yè)基地，在汽車電子、智能手機(jī)、智能穿戴、生物醫(yī)療、機(jī)器人、AR/VR、無人機(jī)、衛(wèi)星及工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域擁有大批國內(nèi)外知名的廠商，對各類MEMS傳感器存在巨大市場需求量。

深圳市相關(guān)MEMS傳感器下游應(yīng)用企業(yè)

2.深圳市MEMS產(chǎn)業(yè)總體呈現(xiàn)“小而精”的特征。

據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，目前深圳市范圍內(nèi)研發(fā)、制造生產(chǎn)MEMS傳感器的相關(guān)企業(yè)共計(jì)62家，其中上市公司13家，南山區(qū)和寶安區(qū)占比超半數(shù)。既有瑞聲聲學(xué)、精量電子等技術(shù)積累雄厚的老牌企業(yè)，也不乏速騰聚創(chuàng)、鐳神智能等擁有強(qiáng)大研發(fā)實(shí)力的后起之秀，產(chǎn)品涉及范圍十分廣泛，涵蓋航空航天、能源、醫(yī)療、交通、民生等領(lǐng)域。深圳的MEMS產(chǎn)業(yè)總體上呈現(xiàn)“小而精”的特點(diǎn)，多個(gè)細(xì)分領(lǐng)域擁有一批國內(nèi)外具有一定影響力的科技創(chuàng)新型企業(yè)，但企業(yè)的規(guī)模普遍較小。

深圳市MEMS細(xì)分領(lǐng)域重點(diǎn)企業(yè)

3.深圳市MEMS產(chǎn)業(yè)鏈制造短板凸顯。

目前，中國的MEMS中試、代工及IDM生產(chǎn)線主要分布在長三角地區(qū)。深圳乃至粵港澳大灣區(qū)尚無一條可以滿足多種MEMS產(chǎn)品制造、封裝、測試需求的晶圓生產(chǎn)線，無法滿足設(shè)計(jì)企業(yè)、研究機(jī)構(gòu)開發(fā)新產(chǎn)品的加工試制、測試需要，造成本地MEMS產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈失衡。據(jù)多家本地企業(yè)反映，其主要到蘇州、上海等地尋求晶圓代工服務(wù)進(jìn)行產(chǎn)品中試驗(yàn)證。此外，由于深圳市在MEMS制造環(huán)節(jié)的配套不完善，企業(yè)從戰(zhàn)略布局的角度考慮可能不會優(yōu)先選擇落地深圳。

國內(nèi)MEMS晶圓產(chǎn)線分布情況

1.突破共性核心技術(shù)，搶占戰(zhàn)略發(fā)展制高點(diǎn)。

重點(diǎn)圍繞MEMS慣導(dǎo)組件、車規(guī)級MEMS激光雷達(dá)、工業(yè)級MEMS壓電及力學(xué)傳感器等高精度、高可靠性核心器件的共性通用技術(shù)，實(shí)施一批重大核心技術(shù)攻關(guān)專項(xiàng)，力爭取得一批產(chǎn)業(yè)帶動性強(qiáng)、自主可控的重大原創(chuàng)科技成果和自主知識產(chǎn)權(quán)，搶占MEMS產(chǎn)業(yè)高端價(jià)值鏈。

2.建立MEMS中試平臺，助力企業(yè)提速發(fā)展。

以政府為主導(dǎo)搭建MEMS中試平臺，圍繞射頻、壓電、光學(xué)MEMS器件開展特色制造工藝的研發(fā)和中試，為廣大中小企業(yè)開發(fā)新產(chǎn)品提供工藝技術(shù)開發(fā)、流片試制、中試驗(yàn)證、檢測評估等公共服務(wù)，加速M(fèi)EMS器件全流程研發(fā)創(chuàng)新，補(bǔ)齊制造短板，構(gòu)建大灣區(qū)MEMS產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新生態(tài)圈，促進(jìn)MEMS產(chǎn)業(yè)高端化發(fā)展。

3.面向全球“靶向引才”，構(gòu)筑創(chuàng)新人才高地。

      設(shè)立MEMS行業(yè)稀缺人才特殊獎(jiǎng)勵(lì)政策，主動面向全球MEMS行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)、研究機(jī)構(gòu)和高校引進(jìn)一批擁有豐富制造生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)和先進(jìn)工藝開發(fā)能力的頂級技術(shù)專家及工程師，助于本地MEMS企業(yè)迅速提升設(shè)計(jì)能力和工藝水平。同時(shí)，依托MEMS中試平臺開展國際研發(fā)項(xiàng)目合作、共建聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，培養(yǎng)一批MEMS領(lǐng)軍人才，加強(qiáng)后備人才隊(duì)伍建設(shè)。引進(jìn)和培育“兩手抓”，構(gòu)建國際一流人才高地，激發(fā)創(chuàng)新活力。